電子部品生産機器
Electronic component production equipment
ウェーハ自動移載機
本装置はφ300ｍｍウェーハをカセットからカセットへ安全に移載します。移載前に装置内のマッピングセンサによりカセット内のウェーハ有無検知やクロススロット検知も行います。
ブラシ洗浄機
６カセットの満杯カセットにより、自動供給を２列のラインへ投入して、ブラシと純水による自動洗浄を行い、クリーンな熱風により乾燥を行い、空カセットへ自動収納する装置です。
レジスト塗布機
液晶注入機
治具カセットに入った液晶パネルを一定時間真空引きした後、注入皿に入った液晶を上昇させて、液晶パネルの注入口と接触させて、大気開放することにより、パネル内に液晶を注入させる装置です。
基盤研磨機
エッチング装置
部品検査組立装置
カメラでの検査を行いながら、部品を組み立てる装置です。
通電検査機
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