電子部品生産機器

電子部品生産機器

Electronic component production equipment

ウェーハ自動移載機

ウェーハ自動移載機

本装置はφ300mmウェーハをカセットからカセットへ安全に移載します。移載前に装置内のマッピングセンサによりカセット内のウェーハ有無検知やクロススロット検知も行います。

ブラシ洗浄機

ブラシ洗浄機

6カセットの満杯カセットにより、自動供給を2列のラインへ投入して、ブラシと純水による自動洗浄を行い、クリーンな熱風により乾燥を行い、空カセットへ自動収納する装置です。

レジスト塗布機

レジスト塗布機

液晶注入機

液晶注入機

治具カセットに入った液晶パネルを一定時間真空引きした後、注入皿に入った液晶を上昇させて、液晶パネルの注入口と接触させて、大気開放することにより、パネル内に液晶を注入させる装置です。

ラッピング研磨機

基盤研磨機

エッチング装置

エッチング装置

部品組立機

部品検査組立装置

カメラでの検査を行いながら、部品を組み立てる装置です。

通電検査機

通電検査機